二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 100E #9389780 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 100E掩模对准器是一种高精度、经济高效的设备,专为光刻、半导体光电子和光学等多种用途而设计。它可以自动完成以下任务：在使用复杂的软件和硬件功能的同时,将掩码对齐并暴露在基板上。MICROTEC MA100E配有真空卡盘，可将基板牢固固定到位，并配有双轴高精度级。它的最大分辨率为10 µm,可重复性为5 µm。KARL SUSS MA 100 E采用强烈的紫外线卤素灯打造，提供高达3 µm的特性尺寸。内置的基于摄像头的自动对齐系统允许用户使用基于图像的对齐标记，而内置的集成传感器则使用户能够执行高精度、高速的对齐校正。该设备还提供自动聚焦检测,确保可重复的结果,并为高精度光刻应用程序提供未阐明的特征分辨率和准确性。集成的XY级允许遮罩和基板尺寸达到100 mm。该级采用坚固、低振动的工业级直线电动机驱动系统，具有0.5 μ和25米μ开环可重复性。可以分别为精确对准和优化级速度设置慢速和快速电动机速度。快速电机转速可设置为200毫米/秒,而慢速电机转速可设置为1mm/s。KARL SUSS MA 100E还具有光学、流体和电馈通特性，允许光阻剂以最小污染转移，闭环串扰补偿消除全局基板运动误差。MA 100E配备了符合人体工程学的操作控制台，允许用户通过简单的键盘界面来控制设备。屏幕上的显示屏确保了易用性,而内置诊断工具则允许快速排除故障和解决问题。KARL SUSS/MICROTEC MA100E具有多种高级功能,可自动完成各种基板的对准、曝光和接触过程,包括硅片、石英、氧化锂、聚酰亚胺和陶瓷。自动清理功能可有效清除残留的清洁溶液,从而减少关键区域的接触时间,加快掩模/基板交换时间。最后，该设备具有全面的安全功能，包括卤素安全快门和CE认证的安全等级1扫描。MA 100 E是一款先进可靠的掩模对齐器，旨在最大限度地减少编程时间，最大限度地减少由于不完善的对齐而造成的浪费，并为广泛的光刻和光电应用最大限度地提高精度和吞吐量。