二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 12 #293808783 待售
网址复制成功！
单击可缩放
KARL SUSS/MICROTEC MA 12是一种用于光刻的掩模对齐器，用于转移高分辨率的图样结构。它有一个自动化晶片处理设备，能够支持25毫米到200毫米晶片与高真空卡盘精确对准。它是一种可编程曝光工具，使用直观的图形用户界面很容易操作。它具有波长可调性范围，可以捕获从近红外（NIR）到紫外线（UV）光源的广泛波长范围。MICROTEC MA 12具有与X、Y和Theta轴的精确定位控制，以确保图样在晶圆上精确对齐。它具有先进的投影光学系统，其数值孔径为0.28，并具有优化的成像单元，以确保最佳图像质量。此外,它还可以自动选择扫描场的最佳曝光,以及可调节焦点深度的集成聚焦调谐机。KARL SUSS MA 12的主要先进特点是其剂量依赖性部分暴露控制。此功能可实现模式的亚微米分辨率,用于多层的高精度处理。它还为各种应用程序提供可编程层厚度设置和基于配方的自主使用。这一特点确保了光刻和纳米压印等应用能够可靠地定义精细和高精度的结构。其他功能包括使用其自动穿梭工具的可重复掩模处理、伸缩快门和可编程胶片支架，以及集成真空资产。它还有两个加热系统，一个用于基础温度，另一个用于面膜和晶片的温度调节。此外，软件中的扫描仪对齐选项可以用来微调对齐精度。MA 12是一种增强的掩模对齐器，可用于各种类型的光刻工艺。它具有卓越的性能、高精度和重复性，非常适合复杂复杂的精密工艺。直观的图形用户界面和若干自动化功能使其易于使用和维护。KARL SUSS/MICROTEC MA 12的灵活性和准确性使其成为工业、研究和学术应用的宝贵工具。
还没有评论