二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 14 #9281941 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 14是半导体工业中使用的全功能半自动掩模对齐器。MICROTEC MA 14设计用于将具有精确像素级配准的光掩模与光刻涂层晶片对齐。它具有一个连续可调节的x-y级，方便在掩模和晶片之间精确的相对运动。KARL SUSS MA 14利用双光学系统创建晶圆和掩模的复合远心图像。此图像用作评估掩模和晶片之间对齐方式的参考。采用集成激光十字准线模块建立基准参考点。这样可以在掩模和晶片之间精确地重复对齐。MA 14还利用二维相机系统进行自动例行对准。自动对齐是通过引入在输出图像中检测到的阶段模式来执行的。通过计算图样的变形，自动对焦可以精确调整掩模和晶圆之间的距离。此外,可以使用软触摸功能执行对齐,该功能可调整对齐标记的相对位置,而不会干扰其他对齐元素。KARL SUSS/MICROTEC MA 14还包括一个用户友好的带有数字显示屏的键盘。显示屏显示每个对齐所需参数的最新摘要。用户友好的键盘还允许用户在对齐器中轻松输入命令以处理对齐过程。MICROTEC MA 14是一款用途广泛的对齐器，不仅提供高精度的标记和标签，还包括各种测量模式，方便晶圆特征测量和表征。这些包括迭加分析、距离测量以及网格搜索特征位置和特征。KARL SUSS MA 14是晶圆制造应用的完美的工业级对齐器。其多种多样的特性和功能使光掩模能够精确对准光刻涂层晶片。MA 14提供可靠、可重复和准确的比对,以确保高质量的晶圆生产。