二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC #9190230 待售
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ID: 9190230
晶圆大小: 6"
Mask aligner, 6"
Cassette to cassette aligner
Top side and back side alignment
Lamphouse: 350 watts or 1000 watts.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150 CC是一种高性能、数控掩模对齐器,用于各种对齐应用,如光刻、陶瓷基粘合、自旋涂层。它是专门为薄膜、芯片和其他元件的制造而设计的。MICROTEC MA150CC适用于微机电系统(MEMS)、通孔和表面安装装置以及较大面积部件的高精度对准。KARL SUSS MA 150CC具有直观、用户友好的触摸屏软件界面,可帮助简化和自动化整个对齐过程。机器利用传统的对准技术,如缝合和暗场技术,以及专利对准技术,如有源腔对准(ACA),帮助最大限度地提高对准精度。ACA技术使用了一系列参考点,精确地将光掩模精确地放置在基板周围,从而使图样与基板高精度对齐。MA 150CC配备了多种光学和成像元件,如有源像素阵列相机和激光对准头,以提高整体对准能力。它也有一个精密的台阶,运动范围可达150毫米,允许灵活的放置和精确的对准结果。另外,KARL SUSS/MICROTEC MA150CC带有强大的照明系统,包括UV、IR和可见光源,所有这些都可以根据用户的喜好进行专门调整。MA150CC是一个可靠的高级掩码对齐系统,为用户提供精确、高效和自动化的对齐解决方桉。KARL SUSS/MICROTEC MA 150CC具有直观的触摸屏界面、数字对准功能、先进的光学元件和精确的舞台运动系统,非常适合各种制造应用,如光刻、陶瓷接线和粘合以及旋转涂层。
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