二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC #9249160 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA-150 CC Mask Aligner是一种高效、精确、坚固的光刻系统,非常适合在晶圆表面上产生亚微米的特征和结构。利用带电荷的电子束，定向器能够精确定位，定心，并以高精度和分辨率暴露半导体层。该对齐器具有在处理晶片时牢固地固定和对齐晶片的加载机制，以及允许微调调整以确保最佳平版印刷工艺的过程控制模块。MICROTEC MA150CC对准器由于其出色的能量屏蔽，支持一系列常见和专门的过程，包括接触光刻和深层紫外线投射。此外,KARL SUSS MA 150CC允许在X、Y和Z方向手动步进行程距离高达25 mm,步进分辨率为1 µm,从而实现大规模生产。对齐器还包括一个对准和定位摄像头，该摄像头捕获晶圆图样的图像，并为每个传入晶圆的校正和对准提供反馈。此外，MICROTEC专有的智能工艺配方软件使20多个处理参数能够可靠有效地对齐。对于高精度性能，MA150CC对准器配备了固态快门、主动热控制、高电容存储。快门可确保花纹清晰对齐,同时不需要细腻的薄膜树脂。此外，对准器还具有主动热控制系统，便于在整个生产过程中保持一致的温度；这样可以确保长期的模式对齐可靠性和优异的效果。最后，MICROTEC MA-150 CC的高电容存储保持重要参数和控制设置，即使主电源暂停。简而言之，MICROTEC MA-150CC Mask Aligner是一种生产低失真、高精度晶圆图样和结构的顶级系统。