二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC #9299824 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA-150 CC是一种镜片接触式遮罩对准器，用于广泛的光刻应用。它提供高吞吐量和准确性,以及详细的过程控制。MICROTEC MA150CC的设计允许微型和纳米设备的制造，具有精确的对准和曝光灵活性。这款蒙版对准器的工作面积为150 mm x 150 mm，非常适合原型制作、大批量生产和研发。具有高强度光源、最大纵梁精度和对准纠错，可容纳多种晶圆尺寸和基板。KARL SUSS MA 150CC具有主动对准系统,可确保对准精度和1.5微米的重复性。其自动对准功能包括单点和双点测量对准，可用于对3 µm至61 µm的特征进行成像，数值孔径为0.45。此蒙版对齐器还配备了多种工艺控制功能,可确保卓越的打印精度。这些包括开环PID系统、实时监控和反馈，以及精确的超速控制。为保证高质量的光刻，KARL SUSS MA 150 CC具有集成的晶圆处理系统和基于配方的自动曝光优化。最后，面罩对齐器的设计简化了晶片对齐和曝光的过程。它配备了直观的用户界面和功能强大的集成数据管理和分析工具。此外,它还具有高速选项,允许用户增加吞吐量并减少总周转时间。MICROTEC MA 150 CC掩模对准器是一种高效且经济实惠的解决方桉,适用于各种光刻应用,提供卓越的精度和过程控制。它非常适合那些需要频繁、准确对齐、精确曝光和高吞吐量能力的用户。