二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 CC #9394343 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA-150 CC Mask Aligner是一种通用可靠的工具,用于制造微机电部件。它能够实现亚微米精度的临界对准，适合制造具有微观特征的元件。MICROTEC MA150CC是一种全自动和用户友好的设备,可提供卓越和可重复的性能,为高产精细几何形状的生产提供极高的成本效率。KARL SUSS MA 150CC使用一个特殊的步进电机平移阶段，在两个正交轴中精确移动瓷砖掩模。该机构由高速定位系统驱动，该系统基于精确脉冲编码器进行非常精确的可重复定位控制。该级与控制单元进一步集成，以确保口罩能够快速装卸。位于机器前部的一推自动机便于掩模装卸。可以根据蒙版尺寸调整装载力，这样即使是非常小巧的对准蒙版也可以精确放置。掩模对齐器带有内置的自动对焦机，可以在执行对齐时达到最高精度。光学工具使用了较长的景深物镜和反向倾斜级，以获得最佳焦点，无论面罩的对准标记上存在的高度变化。即使蒙版的零件需要epi-lightnation,此功能也能提供良好的聚焦深度。此外,还可以手动覆盖或完全禁用自动对焦功能,以提供最大的灵活性。模拟光步进快门技术用于将掩模上的对齐标记暴露于光电二极管，使资产能够检测和测量标准6um X 6um网格上的对齐标记。这也可以让口罩快速曝光，因为不需要快门的机械运动。对焦距离的掩模是可调的，允许用户根据需要实现不同的曝光和对准精度。MA 150 CC还有一个微定位器，用于将掩模中发现的旋转对准标记或滑块减少到25nm。这种微型定位器对蒙版的曝光量提供了很大程度的控制,可用于微调蒙版的定位以实现更精确的对齐。MA-150CC面罩对齐器是一种真正通用的工具，它为调整微规模组件提供了很高的准确性和控制。它方便用户使用,为高产精细几何的生产提供了卓越的成本效率。