二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 150 M #9149625 待售
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ID: 9149625
晶圆大小: 6"
Mask aligner, 6"
Top side only
No wafer cassettes
One wafer at a time
PC with solid state drive
15" Touchscreen
1000 Watt Lamp house
UV400 Diffraction reducing optics
365nm / 405nm internal sensor
SUSS CIC1000 Constant intensity power supply
SUSS DVM 6 Dual video microscope
5x, 10X and 25X Objectives with turret
SUSS AL300 Large gap alignment system
Proximity, soft, hard and vacuum contact capable
Pneumatic tubing throughout the machine
Standard alignment chuck
Standard maskholder.
KARL SUSS/MICROTEC MA 150 M是MICROTEC开发的用于制造微芯片的精密掩模对准器。它能够产生各种特性和对齐方式,包括微电压、高电阻率总线(<200 nm)和翻转芯片装配。MICROTEC MA 150M设计用于处理具有高精度精度的特殊工艺要求。设计包括一个电动机驱动的工作领域,它允许精细的对准和可重复的定位,以及一个数字读出显示确切的位置。该单元还配备了现代化的光学投影设备和精密的探测系统,以确保准确性。这样,在对微芯片进行阵列化之前,可以精确对准掩码的背面和/或正面。该系统可容纳高达6英寸或150毫米的自动口罩,公差精度± 2 μ米KARL SUSS MA-150M的设计使制造时间更短、更容易。其他工艺选项包括迭加和子像素放大比对,以及可编程的线性Z轴,以适应不同的材料厚度。内置激光干涉仪有助于保持最高的对准精度和可重复性。MA-150M的高级设计利用基于PC的图形控制中心,实现了快速轻松的单元设置。集成摄像头系统支持精确的手动对准,并提供计量选项和自动化流程的视觉辅助对准。该机器还具有更好的鲁棒性,具有防止灰尘和水溅的IP67-compliant保护以及ESD保护。MA 150 M是工业和学术研究应用的理想选择。它是创建从简单的数字设计到更复杂的设计(如3 D堆叠设备)的所有内容的绝佳选择。该单元能够处理多种材料,包括铜、金属、共晶、聚酰亚胺和硅。它旨在尽可能精确地处理生产要求。
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