二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #293603359 待售

KARL SUSS / MICROTEC MA-150
ID: 293603359
晶圆大小: 5"
Mask aligner, 5" Alignment type: Top side alignment and BSA Cassette to cassette USH-350 DS Lamp.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150是MICROTEC开发的现代紫外线(UV)掩模对齐器。它是半导体光刻的高性能工具,并被设计用于广泛的光刻应用。MICROTEC MA150是为精确对准而设计的,在整个运动范围内都非常精确。KARL SUSS MA 150使用各种不同的组件构建。其设计的核心是获得专利的微束技术,它与高精度光学系统集成在一起。这种组合允许MICROTEC MA 150实现亚微米级对准精度。这种精度因其独特的"Mark II"光束步进器而进一步增强,该步进器除了运动之外还能精细控制光束大小和形状。MA 150也是为了可靠性而设计的。机器的所有部件都是为长期使用而制造的,每个MA150在装运前都经过工厂测试。这确保所有KARL SUSS MA-150单位从一开始就充分发挥其潜力。MICROTEC MA-150带有用户友好的GUI,可控制系统的各个方面。它包括多种与模式相关的功能,包括以多种格式传输模式的能力。这使得跨多个掩码和字段的缩放和复制模式非常容易。此外,MA-150还能够跟踪晶圆标记运动,并以高精度测量特征之间的距离。总体而言,KARL SUSS MA150是用于半导体光刻和光刻应用的强大工具。高精度和可靠的设计使其成为精密微电子及其他相关元件专业人员的理想选择。此外,其用户友好的GUI和广泛的模式相关功能使其成为各种任务的理想选择。
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