二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #293695701 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA-150 Mask Aligner是一种高精度光刻设备,旨在将光阻口罩精确对准并暴露于基板上,以便对集成电路进行阵列设计。MICROTEC MA150有一个最大尺寸为4 "x 4"的基板表，支持硅、玻璃、石英和电介质等刚性基板以及聚氯乙烯（PVDF）、聚氨酯和聚酯等柔性基板。对齐器还包括一个可容纳多达四个4 "x 4"口罩的口罩卡带和一个带有5位齿轮驱动、样品卡盘的口罩支架，用于自动基板装卸。为确保精确和可重复对准,KARL SUSS MA 150具有由线性编码器驱动的电动三轴对准级,定位精度高达0.1 µm。它还包括一个具有4X、10X和20X三个物镜的自动对焦系统，它们共同提供了壮观的50微米视野。对准器的光学单元的像素间分辨率为0.2µm，可变曝光时间为200 ms至10000ms，LED功率为9mW/cm2，曝光范围高达8J/cm2。MA-150面罩对齐器使用线性同步微扫描技术，以1 µm的最小线宽暴露基板。适用于UV、Near-IR和E-beam光刻胶，并具有自动化的前端控制机器，可以简化操作，兼容DOS、UNIX和Windows平台。该工具提供了一个高精度真空子系统基板处理和对准使用用户可编程运动控制资产。MA150 Mask Aligner是一种可靠、高效且具有成本效益的光刻解决方桉,可用于晶圆探测、微凹凸平整、高纵横比UV写入、RGB自动彩色感光光刻以及其他微加工工艺。凭借其坚固的构造和直观的操作模式，它是经济高效的原型制作和试生产的理想工具。