二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #293775032 待售
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ID: 293775032
晶圆大小: 6"
优质的: 1993
Mask aligner, 6"
Cassette to cassette
Automatic wafer handling system
Lamp house: 1000 W (Hg) with CIC1000 Power supply
OSRAM 1000 with lamp
Pre-alignment
Semi-automatic front side alignment
Joystick controller
1993 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150是一款先进的高精度口罩对准器，拥有成本低，非常适合研发实验室以及大学和较小的生产设施。MICROTEC MA150提供了与易于使用的软件对齐的精确控制,允许快速调整关键参数,以弥补掩模放置和/或基板不对齐方面的错误。KARL SUSS MA 150利用预先对齐的蒙版和基板使它们快速准确地对齐,无需用户干预。通过两个微米螺钉和一个标线级的精确调整来确定对准的准确性，使设备能够产生精确的对准和最小的配准误差。此外,KARL SUSS/MICROTEC MA 150能够在广泛的基板上重复对齐,包括4英寸和6英寸晶圆、玻璃和薄膜。面罩对准系统还具有空气轴承级，可提供异常平滑的线性运动，从而提高精度和精确的重复性。采用集成微处理器控制器，精确、重复地控制标线级的运动，获得尽可能高的精度Drange结果。MICROTEC MA-150还具有具有自动图像识别和自动对焦功能的高分辨率查看单元,使掩模对准机能够快速、精确地识别掩模和基板上的特征。此工具还包括一些软件功能,允许用户手动调整资产所做的位置和角度调整。这样可以确保用户从模型中获得最佳的精度。KARL SUSS/MICROTEC MA150掩模对准设备可提供完整的附件，包括集成真空卡盘、晶圆弓、加热基板卡盘、基板垫片，以及用于高级光学计量测量的架空175W椭圆仪。此高级掩码对齐系统旨在满足研究和生产级别应用程序的苛刻需求,并且可以与各种附加单元组件集成,从而实现更高的性能水平。
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