二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #293830872 待售
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ID: 293830872
优质的: 1993
Mask aligner
Objectives: 3.2x, 5x, 9x
Power supply: 220 V, 1200 VA
1993 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150是一种多用途自动掩模对齐器，专为光刻应用而设计。这种掩模对齐器提供高分辨率的性能，可用于将图样转移到晶片、基板和其他光刻工艺上，如透硅通孔（TSV）和光掩模。它能够在基板上实现亚微米、高精度的形状、线条、对齐和其他特征对齐。MICROTEC MA150掩模对准器具有紧凑的设计和精确的测量机构，允许高度的准确性和可重复性。它利用先进的紫外线光源，波长范围为248nm-365nm，它的可编程聚焦策略允许广泛的曝光设置。KARL SUSS MA 150蒙版对准器还包括一个车载摄像头系统，它提供了对准过程的实时视图，同时确保了高度的准确性。这种相机系统也补偿任何轻微的不对准的面罩和基板。KARL SUSS/MICROTEC MA 150支持多种尺寸的晶圆、基材和测试基材，使其成为许多光刻工艺的通用工具。通过其集成软件,操作员可以轻松导入、分析和修改CAD/GDSII设计。此外,它还具有自动特征检测、参数优化和简化的用户界面等功能。KARL SUSS/MICROTEC MA150是为工业环境中的坚固性能而设计的,经过测试可承受温度波动、灰尘和化学物质暴露以及冲击和振动。这使得KARL SUSS MA150过程控制应用程序以及生产环境的最佳选择。MA150掩模对齐器具有综合的功能集，非常适合许多光刻工艺。
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