二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9168355 待售
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ID: 9168355
Mask aligner, parts system
Ignition box: 1000 watts
Cables
Covers metal bars and screws
(17) Small PCBs are in card box
(2) Elevator assemblies
(2) Joysticks
Pre-aligner assembly
X-Axis lead screw
Upper and lower microscope mechanism
WEC Head
KARL SUSS Monitor (Bad screen)
Does not include:
UV Optics
Microscope and UV power supply.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150是一种精密、高精度的掩模对准器,专为集成电路制造中的先进光刻技术而设计。它拥有150毫米的工作区，非常适合IC生产的广泛应用，包括半导体研究、内存芯片编程和有源电路设计。对齐器由多个组件组成，包括全自动XYZ表和集成光学设备。XYZ表允许精确定位各种对齐掩码。真空系统确保口罩牢固地固定在适当的位置。光学单元包括激光源、双门光学机和超高分辨率光电探测器。这种组合使得蒙版与基板的对齐非常精确,而基于图像的对齐工具则可以实现更精细的精度。MICROTEC MA150可以通过两种方式确定掩模形状和对齐方式。它可以检测两个相邻掩码之间的错误对齐,从而可以非常有效地放置掩码。或者，它可以检测单个掩模的形状，允许非常精确地制造小至5 µm的形状。这使得面罩对齐器非常适合广泛的应用，包括微电子行业的应用。KARL SUSS MA 150也很人性化。它具有直观的图形用户界面，为用户提供了执行其光刻任务的易于遵循的步骤。输入对齐参数后,MA-150分别将掩码和亚微米阵列对齐基板。此对齐器还带有许多高级特性和功能，如自动曝光控制和失真校正。这确保了精度和可重复性都大大提高。KARL SUSS/MICROTEC MA 150成为光刻学世界的支柱。它的高分辨率光学、自动化功能和集成的光学资产使其成为创造精密和精确的复杂电路布局的完美工具。它易于使用,并且能够执行多个对齐任务,这使得它成为任何高级IC项目的绝佳选择。
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