二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9194539 待售

ID: 9194539
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150是一种掩模对齐器,用于在半导体晶片、薄膜基板和各种光学材料上打印精确的图样。它在半导体元件的制造过程中扮演着关键角色,如微芯片、平板显示器、光电器件和其他元件。这种掩模对准器使用精密的激光束,以高速和精确的方式照射小物体和基板,同时也提供了出色的重复性和分辨率。MICROTEC MA150由四个主要组成部分组成;主单元、主体、面罩舞台、曝光头。主单元包含激光源、光镜和控制系统功能的控制板。主体包含屏蔽墙和清洁系统,可以清洁口罩舞台,确保其准确性和稳定性。口罩阶段是为辐照过程放置口罩的地方,曝光头包含光学器件和聚焦机构,可使口罩与基板精确对准。曝光头能够达到低至-30摄氏度的温度,这对于防止污染在面罩台上积聚很有用。KARL SUSS MA 150提供了多种功能,使其成为功能强大的掩码对齐器。它能够以高达每小时75个晶圆的速度运行,曝光头能够自动调整其对口罩和基板的聚焦。此外,曝光头还配备了高功率激光源,从而可以达到高精度和分辨率。此外,KARL SUSS/MICROTEC MA150还具有可调的辐照功率和曝光时间,使其能够针对不同的基板和应用需求进行量身定制。总之,MICROTEC MA-150是半导体加工中必不可少的掩模对准器,具有高精度和重复性、聚焦和曝光的自动特性以及可调节的辐照功率。它具有广泛的功能,使其能够在基板和晶片上执行精确的模式,并提供一定程度的灵活性以适应不同的加工需求。KARL SUSS MA150是用于可靠和经济高效的半导体加工的高精度工具。
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