二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9203271 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA-150 Mask Aligner是一种用于在集成电路和相关设备的生产中精确对准用于光刻的Masks的设备。它是一种全自动设备,非常适合生产几乎任何设备尺寸或特征形状的高通量设备。MICROTEC MA150旨在产生最精确的掩模-晶圆对准,最大分辨率为0.7微米。它采用了QuadraFlux™的四束成像系统，以确保掩模和晶片非常紧密的对准。这种高分辨率成像单元由动态6轴对齐机支持，该机补偿掩模和晶圆之间的任何错位。KARL SUSS MA 150能够处理最复杂的蒙版设计，包括多层和子层图桉。它的动态对齐工具允许掩模和晶片的理想定位，无论复杂程度如何。这样可以确保每个设备的制造都能达到最大精度。KARL SUSS/MICROTEC MA 150还能直接暴露正、负音抗蚀剂，允许产生极精确、精确的元件。除了其精确的光学对准能力外，KARL SUSS MA150还具有Pulsed或CW激光输出，使其能够用于从UV到IR的过程中。机器上的外部冷却资产旨在确保成像过程中的最高均匀性。KARL SUSS MA-150还配备了大量的安全功能，包括用于安全操作的盖子互锁模型，以及自动检查晶圆对准是否正确的晶圆尺寸验证功能。KARL SUSS/MICROTEC MA150 Mask Aligner是一种高度精确可靠的机器,在创建高质量集成电路设备时为用户提供无与伦比的精确度。MA-150具有许多高级功能，使其能够生产从紫外线到红外的无与伦比的精确度元件。高分辨率成像设备、动态6轴对准、外部冷却系统和安全特性使本机成为精确可靠的掩模对准应用的理想选择。