二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9229271 待售
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ID: 9229271
Mask aligner
Top side only
Power supply: CIC 1000
PC type: TYAN / FN 9160015
Relay interlock box
TSA microscope
TSA objectives: 5x / 0.15, 10x / 0.30, 20x / 0.40
COGNEX 5000
Power meter
Exposure optics: UV 400 HP
Pre-aligner
Mask holder
Voltage: 230 V
Lamp: 350 Watts bulb
2001 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150是一种用途广泛、可靠的用于薄基板对齐的面罩对齐器，用于制造微电子器件。MICROTEC MA150基于模块化结构,由容纳光学元件的主机（如镜头和照相机）以及样板组成。光学器件和机构在样品板和晶片之间移动，由掩模精确对齐。KARL SUSS MA 150的精密光学系统由精密步进电机驱动，X、Y、Z轴和θ轴分别用于在对准过程中精确移动样品卡盘和掩模卡盘。其独特的蒙版对晶片对准技术也被用于最小化模式失准，其先进的设计有助于保持精确的对准精度。在性能方面，MICROTEC MA-150具有高达0.5微米精度的高精度能力，最大卡盘到卡盘的行程为15mm。它具有广泛的曝光能力，最大曝光面积为4.5mm x 6.0mm，X轴和Y轴最大校正24.5°。此外,KARL SUSS/MICROTEC MA150提供高达每小时8个晶片的高吞吐量,具体取决于晶片的大小和复杂性。此外，MA150结构坚固，其复杂的人体工程学技术使其适合各种工业应用。KARL SUSS/MICROTEC MA 150的模块化结构使其易于维护和维修,公司为客户提供备件和服务。总之，MA-150是一种适用于微电子器件制造的可靠、通用的掩模对准器。它提供高精度、广泛的曝光功能和高吞吐量,使其成为各种应用程序的理想选择。
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