二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9248592 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA-150是一种高精度的掩模对准器，用于微电子工业中基板上材料的光刻图样。设备的设计是基于光敏感（光致抗蚀剂）模板与基板的光学对准原理。在MICROTEC MA150系统中,使用了两个独立的阶段。对齐阶段的功能允许操作员将基板和光掩模精确对齐。这是通过一对能够精确移动基板和光掩模x、y和z轴的海登海因来实现的。该装置的设计采用传感器和超精密的手动调整，以最终定位和定位基板。这允许操作员在将光掩模对准基板时达到亚微米精度。该机器还包含一个集成的晶圆对准激光器，该激光器有助于对准过程。这种激光器允许用户快速查找和定位基板以进行精确对准。此外，由于其高精度和最大对齐重复性，该工具可用于低批量和大批量生产运行。为了保证高光掩模可重复性，KARL SUSS MA 150实现了工业级激光。这种激光能够在光掩模上产生小于一微米的可重复线位移。这使得资产即使在大型基片上也能达到高精度。MICROTEC MA-150模型也可以接受广泛的光敏材料，提供了处理各种不同尺寸和厚度的晶片的灵活性。该设备还具有一个集成的冷却选项，使面罩对准器能够在整个基板上实现均匀曝光。最后，MA 150系统配备了允许对过程进行完全控制的高级软件。这个软件可以用来控制暴露剂量和暴露时间，使得多层图样等复杂的过程要简单得多。此外，该单元提供了控制抗蚀层厚度的高精度过程的能力。