二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9250235 待售

KARL SUSS / MICROTEC MA-150
ID: 9250235
晶圆大小: 6"
Mask aligner, 6".
KARL SUSS/MICROTEC MA-150是电子行业专业人士用于精密光刻的专业级口罩对齐器。它是一种高度精确的仪器,用于将一系列有图样的光掩模重复对准和暴露于高分辨率的微结构。MICROTEC MA150包含了许多高级特性和功能,如高度精确的步进电动机、光电编码器、电动掩码平移和高级对准系统。该单位的高分辨率光学设备采用自动聚焦机构,在整个模具区域提供极为精确的掩模放置。它的精确控制允许精确对准几微米内的光掩模。使用自动6轴运动控制,系统使用步进电机来精确控制光掩模在模具上的旋转、平移和线性运动。这样可以在模具上精确放置阵列,并确保每次曝光的精度最高。KARL SUSS MA 150还为用户提供了广泛的高级功能。其晶片分级装置具有坚固的设计和可调参数,以优化晶片在曝光室中的定位方式。此机器还在表上包含颜色编码的对齐指示器,用于显示模具上的蒙版放置位置。该工具还具有集成的全自动检查和机器视觉资产,用于检测和报告模具内的任何基板未对准或缺陷。MA-150为用户提供了多种工具来确保完全暴露的准确性。它提供了一个LED显微镜来辅助手动对准,它也有一个集成的高分辨率相机用来捕捉曝光图像与曝光条件保存并用于下一个晶圆。KARL SUSS MA150配有各种配件,如口罩装载机和口罩储物架,以进一步加强其使用。MA150是为从事困难的工作而设计的,因为它的设计目的是通过单一的曝光设置来处理多达七个级别的曝光。它还允许通过各种用户定义的设置对曝光参数进行全面优化。这使得它成为寻找精确曝光和对准的可靠工具的人的理想选择。
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