二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9250236 待售

KARL SUSS / MICROTEC MA-150
ID: 9250236
晶圆大小: 4"
Mask aligner, 4".
KARL SUSS/MICROTEC MA-150是一种用于大面积光刻加工的精密掩模对齐器。它的设计目的是在12-50 cm的尺寸范围内曝光和绘制图样基板,并将其尺寸缩小到纳米。MICROTEC MA150采用先进的光刻技术和全方位的曝光技术,如连续扫描、步进/凝视和交替重复扫描。KARL SUSS MA 150具有8轴运动控制设备的模块化设计。它结合了具有高精度运动能力的优化控制系统,允许高精度、重复性和吞吐量。该单元可以扩展以容纳具有多种可互换光学元件的多个掩模级,使其成为一系列光刻应用的理想选择。KARL SUSS MA150为透镜操作提供动态聚焦和图样照明,允许一致的曝光参数并严格控制关键过程变量,如均匀性和线宽。该机还具有自动校准程序,以提高精度和吞吐量。MICROTEC MA-150提供了一些用于光学和基板处理的内置功能,如自动注册、自动缩放和自动定心。这种独特的工具提供了出色的覆盖精度,减少了曝光时间,同时还提供了处理不均匀和不规则曲面的灵活性。MA150配备高分辨率电荷耦合器件(CCD)成像资产,用于实时监控和数据采集。该型号还支持标准远程控制、以太网和USB接口。KARL SUSS/MICROTEC MA150由光刻设备和服务的领先供应商MICROTEC制造。该设备旨在为用户提供可靠、高性能的科研和设备制造解决方桉。MICROTEC MA 150是高精度、高通量光刻任务的理想选择。
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