二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9250392 待售

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ID: 9250392
晶圆大小: 6"
Mask aligner, 6" Wafer type: Silicon Chuck: Wafers, 6" and mask, 7" Cassette to cassette No BSA.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150 Mask Aligner是一款功能强大、用途广泛的微加工设备,专为各种光刻应用而设计,从半导体器件的纳米精密图样设计到先进液晶显示器和光学元件的生产。MICROTEC MA150利用步进电机技术移动精密步进电机驱动的线性级,能够精确定位基板至6英寸方形。这种基板由附着在舞台上的真空系统固定在适当的位置。然后将基板与扫描后的图稿和标线所产生的蒙版对齐,将其放置在上层。此时,上下两级均与CCD传感器单元和可微调镜精确对齐。KARL SUSS MA 150提供365至405 nm的波长范围,允许暴露于高灵敏度的光刻胶。此外,它还具有在整个基板上均匀的暴露特性.为确保性能一致可靠,在设备上保持高水平的主点,并不断进行自动自我诊断。KARL SUSS/MICROTEC MA 150 MA Mask Aligner还具有许多高级功能,例如:重复曝光和编程机器,允许用户产生一系列重复模式;自动操作,具有用户友好的显示界面;使用CCD传感器工具进行自动重新校准。此外,KARL SUSS MA150包括一个自动毛毯清洗和边缘传感器识别基板。MA150 Mask Aligner是用质量组件构建的,被认为是可靠和准确的。工程师、大学研究中心和设备制造商相信它能够提供一致和可靠的性能。KARL SUSS/MICROTEC MA150对于那些希望获得有效、高质量的掩模对齐器资产且最小停机时间的公司来说是一项宝贵的资产。
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