二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9361613 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA-150是一种在光刻过程中用于将图样转移到基板上的掩模对齐器。这种对齐器利用紫外线和精密光学器件在半导体或其他基板上精确对齐掩模，以实现所需的图样。这种对齐器主要用于中小型精密光刻作业，其特点从几十微米到不到一微米不等。MICROTEC MA150 Mask Aligner在光学光刻原理下运行。它使用光源（通常是紫外线光源）将绿光投射到基板上,并使用带有设计标记的遮罩。遮罩上的设计标记会阻挡光线的各个部分,从而在下面的基板上创建设计的阴影。面罩由精密电动系统固定在适当位置,可提供高达0.2微米的对准精度。KARL SUSS MA 150是一个方便的机器，它的大小，因为它可以容纳几乎任何清洁的房间或实验室。与其他类似对齐器相比，它的占地面积较小，并且易于设置和操作。一旦设置，MICROTEC MA 150可以半自动或手动操作。此外,它的直观用户界面允许用户轻松调整对齐器设置,使其成为快速掩码处理作业的理想选择。由于其高精度的光学对准系统,MA-150可以在600至1100 nm的范围内实现分辨率。它还具有>90%的高成像均匀性，并且由于其先进的高阶光学器件而具有良好的聚焦深度。MA 150采用环境友好型紫外线扫描镜头设计，意味着它可以在空气、干燥氮或氧气环境中使用。KARL SUSS MA150是一种高级掩码对齐器，允许用户精确地将图样传输到具有高度细节的基板上。其易用性和强大的光学系统使其非常适合需要高精度的中小型工作。