二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9384739 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA-150是为半导体器件制造中的光刻工艺设计的全自动掩模对齐器。用于将微电子电路模式传递到晶圆表面。MICROTEC MA150通过石英光学窗口将高达15毫瓦（mW）的暴露能量传递到抗蚀剂覆盖的晶片。KARL SUSS MA 150具有多种功能,包括高对齐精度、宽视野和高吞吐量。为了准确定位和对准掩模和晶片，设备配备了高分辨率视觉对准系统和可选的自动对准单元。KARL SUSS MA150还具有高折射率的石英光学窗口、从0.1mW到15mW的曝光能级、波长在535-650nm之间的光源以及覆盖7英寸晶圆的大视野。该机针对半导体曝光过程进行了优化，具有高的曝光精度和可重复性，高吞吐量，且价格低廉。MICROTEC MA-150可以在广泛的温度范围内操作,包括温度低至50摄氏度,以确保整个晶圆的光刻胶曝光均匀。KARL SUSS/MICROTEC MA 150易于使用，配备了用户友好的触摸屏显示屏和各种可编程保存的曝光配方。该工具还能够进行暗场和亮场成像，从而更容易检测缺陷。曝光模式可以存储在内存中,并被召回以重复曝光。此外，MICROTEC还提供了可选的曝光生成器软件，可用于修改存储的曝光模式。MA150是一种高性能对齐和光刻资产,可提供可靠、可重复的结果,非常适合要求苛刻和精确的光刻工艺的应用。它是一种用途极为广泛、功能强大的小规模和大规模集成电路制造工具。