二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9389834 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA-150是一种专业级、自动化的掩模对准器，设计用于在非常精细、复杂的集成电路晶片空间中执行精确的光刻操作。此对齐器坚固、精确且模块化,允许根据各种用户需求进行定制。MICROTEC MA150是一种全自动光刻设备，具有安全可靠的真空密封无摆动室，可提供精确、可重复的对准和晶片均匀暴露于1-99晶片掩模中。该系统还具有低强度机械子系统，即使在容易振动的环境中也能实现精确操作。KARL SUSS MA 150具有24位纳米级分辨率和内置智能过程控制单元，可实现亚微米对准精度以及稳定、精确的曝光控制，无条带或其他图像缺陷。此外,该单元还具有灵敏的光学模块,能够测量焦距高可重复性的小区域,从而能够精确定位掩模和晶片。KARL SUSS/MICROTEC MA150还具有一个可移动的舞台，用户可以根据自己喜欢的规格轻松调整机器。该装置允许使用多种技术，如湿蚀刻、光刻胶开发和固化、真空溅射和热处理。该工具还可用于使用间歇室技术处理厚晶片。该资产能够提供厚度达1.5 μ m的薄膜,以及高达1.7 nm线宽的遮罩。此外,该模型允许使用即时标线,从而使用户可以在光刻过程中自由进行设计更改。MA150还支持一个用于设计光刻工艺的综合配方库。该设备还提供灵活的自动校准选项和集成校准监视器,确保顺利和准确的处理。此外,MA 150与MICROTEC产品线中的其他系统兼容,允许将配方从一个系统一键传输到另一个系统,从而提供高效灵活的生产解决方桉。