二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-150 #9395014 待售
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ID: 9395014
晶圆大小: 4"
Mask aligner, 4"
Cassette to cassette
Contact / Proximity mode
Does not include BSA
Power supply: 220 V, 60 Hz.
KARL SUSS/MICROTEC MA-150是一种掩模对齐器，通常用于在微加工过程中将纳米结构对齐并暴露在基板上。它能够将纳米制造模式、电子束组件和半导体组件等结构暴露在基板上。MICROTEC MA150提供了掩模与基板的精确对准以及纳米结构所需区域的精确曝光。KARL SUSS MA 150具有多种特性，使其成为微加工的理想工具。它是一种高精度的机器，位置精度高，重复性好。它使用固定的分束器和步进电机扫描设备对准掩模和基板，准确地暴露所需的纳米结构。它还内置了控制软件，以确保精确的处理参数。MA-150具有出色的温度控制,可提供从毫秒到分钟的曝光时间,具体取决于要曝光的材料。该机器提供可编程的自动曝光，并支持不同的曝光序列，以制造复杂的模式。此外,它的开放式体系结构设计允许其他组件集成到系统中。MA150配有一系列曝光源，包括一个300-W氙弧灯、一个150-W钨灯、一个相干激光二极管（CLD）激光二极管和一个激光直写（LDW）曝光头。曝光源可以在湿板和干板之间自动切换。对准单元允许在1微米的分辨率下精确曝光，并密封对准室以保持真空。KARL SUSS/MICROTEC MA 150还支持多种材料，包括半导体材料、光敏材料、复合材料等。该机器允许使用标准掩码和许多高级掩码技术。该工具还支持一系列抗拒开发解决方桉，多个过程可以集成到单个曝光序列中。KARL SUSS MA150是生产小型电子零件的经济高效且用户友好的口罩对准器。其精确度和精确度使其成为微加工工艺的理想工具。该资产旨在支持各种接触源和材料，并为用户提供准确调整和暴露结构的高效流程。
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