二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 150c #9379206 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 150 c是最先进的掩模对齐器。它是一种高度先进的机器，能够进行光刻、光刻和蚀刻，用于各种微电子器件的制造过程。MICROTEC MA 150 c具有两室设计,具有独立的清洁室兼容工艺室,可用于手动操作,以及自动、曝光和曝光后应用程序。KARL SUSS MA 150 C具有刚性锻造铝结构，在其1.5m的全工作高度上提供了高度刚性的支撑。这种结构还涂有均匀的黑色环氧树脂，用于热和光吸收。其缓冲良好的Y-Z和Θ-Φ轴提供了高度的精确对准，同时保持高达20千克物体的高容量。整个工作区域可容纳203毫米x 203毫米大小的平坦表面。KARL SUSS/MICROTEC MA 150 C具有一个集成的激光对准系统，该系统由两个机柜内激光源和一个扫描镜组成，允许在光掩模定位方面具有很高的精确度。为方便起见，它还包括一个半自动的4轨晶片和曝光处理程序，允许在几秒钟内放置和交换光掩模和晶片帧。除了光刻，KARL SUSS MA 150 c还配备了全自动开发站和曝光后槽模涂层。开发站和槽模涂料可以精确沉积不同类型的光致抗蚀剂。曝光后,蒙版将自动转移回对齐器,以便进行蚀刻过程（如果适用）。MA 150 c专为高吞吐量而设计,平均φ超过0.2微米φ掩码对准精度。在提供完全自动化的同时，它还有一个易于使用的用户界面，它提供了对机器过程的方便控制和监控。MA 150 C通过15至35°C的集成Peltier模块进行温度控制，设计为保持恒定温度，确保结果一致。总体而言,MICROTEC MA 150 C Mask Aligner是一款最先进的机器,可提供高精度和精确的Mask对准,结合全自动化和用户友好的控制界面,使其成为微电子设备制造的理想系统。