二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 Compact #9350986 待售
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KARL SUSS/MICROTEC MA 200 Compact是一种适用于微电子器件小批量生产和原型制作的掩模对齐器。它非常适合于制造光刻胶掩模,特别适合于高屈服率的非标准器件几何形状的快速周转。MA 200的紧凑设计使您可以轻松进入工作区,紧凑的框架提供了高度的可重复性和精确度。它具有一个长的精密磨碎玻璃板,用于精确对准光掩模和基板。这确保了在移动焦点方向时的精确重复性,以及对暴露区域的精确测量。该机器还提供高达6 μ米的高分辨率对准。MA 200的机械操作由直驱伺服电动机提供动力,高速扫描能力高达200毫米/秒。曝光系统是光谱为400 nm至1060 nm的二极管线激光器,精确到波长的1%。这种激光器具有可调的光斑尺寸,提供了产生微米大小图桉的灵活性。MA 200使用独特的电子性能监控来密切观察对准误差,并在误差超过一定阈值时中止曝光周期。MICROTEC Mask Aligner还包括实时纠错的检查系统和提高的过程精度。该单元使用方便。直观的触摸屏显示屏提供系统性能的实时反馈。MA 200是按照ISO 9002质量标准制造的,以实现最佳的可靠性和长期性能。维护单位简单,成本效益高。所有附件和组件均在同一ISO 9002兼容环境中制造,以确保与其他标准组件的兼容性和兼容性。总体而言,KARL SUSS MA 200是生产光刻材料和设备几何形状的可靠且经济高效的工具。它提供精确的对准、精度、重复性和速度,使其成为微电子零件快速原型的理想解决方桉。
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