二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 Compact #9391681 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 200 Compact是一款先进的用于处理微电子产品和设备的掩模对准设备。它是一个多用户系统,能够实现0.30 μ m功能大小的高分辨率。它是一个可靠、用户友好的单元,可提供经济高效的光刻解决方桉以及快速的掩模交换时间。MICROTEC MA 200 Compact是一款高级掩模对齐器，专门研究高精度光刻技术。这种精密的机器提供完美的表面重迭和横向配准精度高达± 0.1 μ米.它还提供了多种对齐模式，例如使用激光技术直接书写和矩阵配准，即使用预先放置有参考标记的蒙版，这些标记被成像到基板上并用于对齐。KARL SUSS MA-200 COMPACT还提供高达300 nm的微对比度成像。这个工具能够处理各种工作，从大型基材和产品到小型晶片。基板支架允许将基板放置在不同的方向，便于各种产品的精确对准。该资产可以处理厚度从0.1到8毫米的晶圆，并具有高分辨率的自动对焦功能，以确保可重复对准。此外,该设备还具有先进的自动化功能,能够处理直径从6英寸到8英寸不等的晶圆或基板。其灵活的光学设计在所有焦距上都提供出色的成像性能。它还具有200毫米透镜,可实现更大的光学聚焦深度。MICROTEC MA-200 COMPACT的输入输出分级配备了两个掩模鼓处理程序，可以带来高效的机器人掩模交换。KARL SUSS/MICROTEC MA-200 COMPACT面罩对准器配备了暗室和晶圆厂操作的标准安全功能。它旨在确保操作员和设备的保护，它还具有几种自我诊断功能和可以检测故障的安全联锁装置。该型号还配备了最新版本的MA Enterprise软件包。这个最先进的软件提供了强大的功能,例如自动优化、控制图表、泄漏分析以及许多其他简化光刻工艺的工具。此外,它还具有内置设备控制功能,允许用户远程控制系统并监控有价值的设备和产品信息。MA-200 COMPACT提供先进的光刻解决方桉,配备精确的设备、可靠的操作和经济高效的解决方桉。