二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #293608933 待售
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KARL SUSS/MICROTEC MA 200是一种手动掩模对齐器,适合研究、原型製作,以及低至中等体积的生产。它设计用于微电子、光电子、MEMS和纳米技术中的光刻应用。MICROTEC MA200为精确、一致的光阻成像提供了卓越的性能。其获得专利的D-FocuSmart Active Alignment Systems和对准相机设备确保了高精度、重现性和质量。该系统基于提供暗场照明的倒置光学设计。它使用手动XY-translation阶段和可旋转的开放式架构对齐单元,使用户可以轻松地在蒙版和基板之间切换。KARL SUSS MA-200能够将微图样对准到0.2 μ m (2,000 nm),并且可以使用激光干涉仪驱动的微定位器达到高达6,000 dpi的分辨率。MA-200提供了一个基于浏览器的自动化用户界面,它提供了直观和交互式的用户体验。它有一个用户友好的对齐助手,可以编程以指导用户完成对齐过程。它还具有用于掩码重新对齐和自动保存的功能,可确保对齐在多个基板上保持一致。它具有实时图像预览窗口来监视对齐进度,以及用于微调图像对比度的重新锐化工具。此外,KARL SUSS MA200还配备了安全停止指标,以确保用户安全,防止意外暴露于辐射中。它还有一个紧急关闭开关,可用于在发生任何紧急情况时快速关闭机器。KARL SUSS MA 200还与大多数光刻材料兼容,包括抗蚀剂和溶剂,并涂有防止颗粒粘在机器上的特殊防静电表面材料Corthane。它有一个小的占地面积,使它成为一个完美的解决方桉,实验室缺乏空间,一个更大的机器。同时,KARL SUSS/MICROTEC MA200也很高效,得益于其高吞吐量和快速的循环时间。它设计为易于使用和维护,具有可调节的聚焦范围、模块化和清洁室兼容性。总体而言,KARL SUSS/MICROTEC MA-200是一款出色的掩码对齐器,可提供高精度、可靠性和用户友好的功能。它非常适合实验室和小型生产设施,需要产生准确和一致的光敏成像。
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