二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #293618545 待售
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KARL SUSS/MICROTEC MA 200是一种蒙版对齐器，旨在曝光、开发和查看微电子技术中使用的蒙版图样和对齐标记。它用于在广泛的基板上创建高精度和错综复杂的图桉，如光刻胶、不锈钢、铬表面和多晶硅。该机器的Mainframe由多种可选组件组成,最多可支持四个基底,从而提供灵活性以及一系列生产效率和节省成本的选项。用户通过彩色TFT触摸屏操作Mask Aligner,提供方便直观的界面。可以使用不同的对齐方法,包括边跟随和特殊的对齐技术,如离轴移位,以定义的偏移和用户指定的精度来注册IC特征。MICROTEC MA200利用波长为365 nm的先进光学设备,提供0.40的集成NA。该系统可提供出色的分辨率、良好的逐场平坦度和恒定的照明。为了查看模式,安装了具有4096 x 4096 px分辨率的高分辨率CCD传感器。为了精确对准临界接触孔图样,可以使用特殊的"单瞳孔",这有助于减少通过掩模的光量。这提供了一个可以与预定目标区域精确对齐的截然不同的光边缘。KARL SUSS MA-200还配备了一个自动化开发站，该站自动将基板转移给开发者，补充化学品，然后将其返回到模块。这样可以消除流程停机,从而提高吞吐量。为了进一步方便用户,可以通过模式验证提供自校准功能,自动将对齐模式或对齐标记与存储在单元中的标准参考进行比较。为了进一步的数据保护，机器包括一个Autowrite函数，允许在停电时存储和召回图像处理参数。这样可以确保保留所有设置,然后保留处理的信息。最后,MA-200附带了一个功能强大的基于Windows的软件,用于控制计算机和管理流程数据。该软件提供了广泛的报告功能,以及全面的流程数据预览和后处理选项。软件还可以将校准参数从一台机器传送到另一台机器，或者从一个模式库传送到另一台机器，从而便于重现。
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