二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9180516 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 200是一种掩模对齐器，旨在提供一种快速和高度精确的方法，将掩模图样转移到微芯片制造中使用的基板上。它利用极紫外线（EUV）来制造对半导体基板的曝光，然后开发、成像和测试。MICROTEC MA200非常适合需要高精度和短周期的生产运行,特别是在具有复杂几何形状或高密度的处理设备中。该设备提供了出色的亚微米对准精度，这是通过使用多曝光刀头的能力提高。KARL SUSS MA-200由基于PC的软件控制,使用户能够存储、编辑和重复进程步骤和对齐方式。遮罩对齐器利用可视步骤将遮罩精确对齐到晶圆上，这有助于减少错位。该系统还为每一层提供可重复的数据，使每次微调过程步骤和改进结果变得容易。KARL SUSS/MICROTEC MA-200包括高速掩码传输机制、用于精确焦点控制的差分焦点反馈机制、高分辨率图像查看器和直观的图形用户界面等功能。该设备设计方便维护,具有可快速更换的冗余插件组件。它还包括用于监视和控制可操作性的高级安全机器,以及用于检测操作过程中可能发生的任何错误的内置软件错误检查功能。对所有安全联锁装置进行监测和整合，以便有效和安全地运作。MA200是一种可靠、高效的掩模对齐器,能够快速、精确地将图样传输到微芯片制造过程中使用的表面。它提供了一个非常精确和可重复的过程,以及自动聚焦控制、高分辨率查看器和直观的用户界面等功能,可帮助生产高质量的微芯片。