二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9222504 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 200是一种自动化的掩模对准器，用于生产微电子器件中的光掩模的精确对准和曝光。MICROTEC MA200提供了实现现代微电子制造产量所需的精度和速度。KARL SUSS MA-200使用阶梯式对象表在X、Y和Z方向上精确对齐形状和大小各异的电子设备。通过其精细的螺距级与精确的机械对准相结合，可以实现电子元件的亚微米精度定位和快速的设置时间。MICROTEC MA 200利用65,000个位置的超细螺距机械对齐XY表定位物体或基板。Leica光学器件提供200 mm的视场,以获取具有高背景对比度甚至低光照水平的工作场,而白光源为对准目标提供广域曝光。KARL SUSS/MICROTEC MA200提供多种曝光功能,最多可配备四盏石英辐射灯,以及各种可互换的紫外线和可见光光源。这些灯连接到最大设置为1000 Watt/cm2的电源。电源可确保均匀、一致地最大程度地暴露于基板。MA200配备了激光基准对准,以实现零件对准的最佳精度,并具有多种步进和重复功能。通过自动将相同的结构重复到基板上的多个位置,可以有效地利用基板空间。KARL SUSS MA 200为分析全球暴露均匀性提供了一个新颖的框架。该系统结合了全球非均匀性补偿（GNUC）和高级过程控制（APC），并提供实时反馈和自动调整，从而提高可靠性和更好的产量。MICROTEC MA-200掩模对准器是高效、准确的光掩模生产的重要工具.其高精度机械对准、多重曝光功能、激光基准对准、APC系统等都是为帮助生产微电子行业的优质光掩模而设计的。