二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9238448 待售

KARL SUSS / MICROTEC MA 200
ID: 9238448
晶圆大小: 6"-8"
优质的: 1992
Mask aligner, 6"-8" 1992 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 200是一种掩模对齐器,利用先进的精密对齐特性来确保光刻掩模的精确对齐。这种遮罩对准器提供了1.25 µm步长的遮罩极精确的对准,最大光学元件± 2.2 µm。它采用精密电动机设计,可提供高质量的性能,并为要求最苛刻的对齐任务提供可重复性和动态响应。MICROTEC MA200具有顶端的5轴定位设备,并使用步进电机、直驱电机和线性编码器的组合,在X、Y、Z和Theta方向自动移动掩模,以确保精确对准。它还具有用于安全蒙版加载和ESD保护的真空卡盘,以确保您的蒙版保持完美的工作状态。KARL SUSS MA-200提供高速对准和优化成像,以实现尽可能高的精度和吞吐量。对准系统还具有高速自动对焦功能和改进的图像质量,以及强大的对准软件。此掩码对齐器还与高级视觉处理器集成在一起,以确保快速准确的测量。它包括一个精确校准单元,以确保光路精确对齐,提供最高水平的精度和可重复性。此外,KARL SUSS/MICROTEC MA-200还具有可定制用户界面、自动信息子系统、热补偿机和精确PSD校准等不同的功能集。MICROTEC MA-200设置用于空气轴承对准,并配备了方便的安全锁定功能和状态监控,以方便用户。它还包括一个用于快速多掩码扫描的检测器阵列,并设计了一个先进的冷却工具,以便可靠的操作。KARL SUSS MA 200采用最新的光学对准技术设计,是各种光刻应用的理想选择。MA 200具有高精度的对准特性和强大的性能,是精确可靠的光刻面罩对准的完美工具。
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