二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9238449 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 200是在微电子学中用于光刻和光学对准应用的多功能掩模对准器。该工具可以是中小型生产运行、研发、原型制作和低批量生产的经济高效的解决方桉。此对齐器具有用于图像查看的大型液晶显示屏（LCD）、可移动遮罩支架、用于自动对准的双光束激光监视器以及XYZ级的自动索引。它设计了一个208毫米x 208毫米的曝光区域和最多5毫米对准基板。MICROTEC MA200包含先进的光学设备,使其能够产生高精度、高重复性和最小失真的复杂集成电路。可调镜头系统由三个独立的镜头选项组成,范围从2X到10X。光学器件采用大孔径，可有效捕获光束，长工作距离13.5mm，以优化聚焦深度和精度，并采用机械对准装置，便于调节遮罩支架。用于自动对准的主激光束监视器是带有倾斜扫描仪和声光分束器的双轴机器。KARL SUSS MA-200采用高速控制处理器,可读取、显示和存储多达16个不同图像的数据。处理器还控制对齐和源对齐系统,允许用户重复以前的曝光运行并确保可重复的结果。此外,对齐器还具有内置的曝光和定位监控工具,可减少曝光时间并帮助避免过度曝光。MA200的初始设置非常简单,只需要用户选择用于曝光和对齐的参数。该资产可编程为与光刻胶、焊膜、干膜抗蚀剂等多种材料配合使用。此外，暴露和对准过程很容易配置有多个进场臂、多种控制暴露的方法，也没有其他必要的工具来达到最佳效果。总体而言，KARL SUSS/MICROTEC MA-200是一种可靠且用户友好的微电子制造口罩对准器。这台机器的经验丰富的用户可以受益于其自动对准和索引功能,以及灵活的对准区域和可调节的光学器件。通过允许用户轻松配置曝光参数和重复曝光运行,此工具是中小型生产运行和研发项目的经济高效且灵活的解决方桉。