二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9239896 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 200是一种微光刻面罩对齐器，用于制造印刷电路板、半导体集成电路以及其他各种平板显示器。本产品设计用于在曝光过程中将光掩模与工件精确对齐。面罩对准器有两个运动轴，能够连续两次运动，使面罩和基板的对准度达到所需对准规格的0.2 µm以内。MICROTEC MA200的精确度和准确度通过其先进的对准设备得到加强，该设备包括测量x、y和θ坐标定位的光束。此外，系统还有一个多针定位单元，屏蔽外部辐射，三个灯聚焦补偿控制，以及自动对焦控制，以确保对准保持在精密规格内。KARL SUSS MA-200具有几个提供光学光滑曝光过程的功能。该机器配备了数字微米读数，以及半自动聚焦和曝光控制。曝光光学器件提供了曝光场的均匀照明，使得首次曝光率达到98%成为可能，同时也消除了失真。曝光光学器件提供高分辨率以及高速曝光模式。KARL SUSS/MICROTEC MA200分为三个阶段：曝光阶段、预对准阶段和注册阶段。曝光阶段有利于光致抗蚀剂和底物的曝光。预对准阶段允许定位光掩模和基板对准，同时将配准误差保持在对准目标的0.2 µm以内。配准阶段允许对基板和光掩模进行精确定位，并监控配准错误。MA200是一种可靠的性能屏蔽对齐器和可靠的显微光刻工具。其高精度和精密的对准工具已被证明是可靠的微电路印刷和半导体和平板生产。因此，它已成为专业的微图设计者和制造商的首选。