二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9298780 待售

KARL SUSS / MICROTEC MA 200
ID: 9298780
晶圆大小: 8"
优质的: 2013
Mask aligner, 8" 2013 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 200 Mask Aligner是用于光刻工艺生产集成电路的一种最先进的工具。MICROTEC MA200提供了优越的准确性和可重复性比其他的多合一掩模对准,使其成为理想的生产应用,其中设备产量和准确性是至关重要的。KARL SUSS MA-200利用"XY表处理基板"。这允许设备在平版印刷过程中将基板精确定位在X-Y平面中。此外,MA-200还具有"Auto-Z"特征,它使用磁头自动检测基板的厚度并相应调整对齐方式。这样可以最大程度地减少人为输入的错误,并确保平版印刷过程能够准确执行。另外,MA 200遮罩对准器有一个集成的真空室,在光刻循环中将基板牢固地固定到位。这样可以防止基板因外力而移动,并确保过程的准确性和可重复性。MICROTEC MA-200还具有允许用户自动进行对齐、步进和重复循环的功能,从而允许更快的处理时间。系统主要通过运行基于Windows的软件的外部PC进行控制。这使得KARL SUSS/MICROTEC MA200易于使用,因为所有设置和调整都可以通过PC进行操作。这台PC还将所有工艺细节存储在硬盘上,从而实现所有光掩码数据的高效重复性和可追踪性,包括设备参数、基板和曝光配方。最后,MA200面罩对准器利用封闭的紫外线光源,使其能够同时进行硬质和软质的紫外线光刻。这使得它成为原型开发和生产卷运行的通用工具。总体而言,KARL SUSS MA 200是一种可靠、精确的掩模对齐器,适合各种集成到现有生产线中。它具有优良的重复性,全面的用户管理系统,能够兼具硬质和软质的紫外线光刻功能。
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