二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9356073 待售

KARL SUSS / MICROTEC MA 200
ID: 9356073
晶圆大小: 6"-8"
优质的: 1995
Mask aligner, 6"-8" 1995 vintage.
KARL SUSS/MICROTEC MA 200是一种精密的掩模对齐器,旨在处理广泛的光刻应用。它能够产生精确对齐的高质量图像。MICROTEC MA200是半导体器件制造、先进光电、MEMS等领域批量生产、原型制作和研究的绝佳选择。KARL SUSS MA-200使用基板卡盘设备将基板及其所需的掩模固定在曝光阶段。180 mm x 120 mm精度阶段允许在两者之间进行严格和可重复的配准。这样可以精确对齐精细几何形状,精度为0.5 um。6.0英寸(152.4mm)的最大轻松曝光面积可扩展整个龙门的可用区域。KARL SUSS/MICROTEC MA200使用高度可靠的固态氙气灯在基板上传递均匀的光场。该灯还配有滤光轮,以创造多波长曝光选项。此外,该装置还配有内置的快门控制装置,可提供全方位的曝光能量。此外,独立的散射快门为用户提供了在曝光中塑造所需能级的选项。在温度控制方面,KARL SUSS MA200标配Peltier冷却系统,以确保整个过程的温度一致。这样可以在各种材料中实现可靠的可重复性。此外,该装置还配备了气体过滤器/净化器装置,以清洁进入的气体并尽量减少污染。安全是MA 200的优先事项,因为当工具运行时,机器会自动执行安全功能。在运行MICROTEC MA 200时,眼部保护至关重要,因为该装置在使用时会产生危险的紫外线辐射。为了进一步安心,资产还配有专门的安全联锁,随时保证人员安全。MICROTEC MA-200是一种功能非常强大的机器,为各种光刻应用提供精确的对准和可重复性。非常适合研究、开发和制造,MA200是需要精确光刻的项目的可靠和高效的选择。
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