二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9373260 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 200是一种掩模对齐器，用于精确定位，然后将图样传递到所需的表面，该表面可以包括半导体基板或光掩模。掩模对齐器能够将特征对齐到0.2微米，并且能够覆盖和对齐某些情况下数百微米的特征。这台机器是非常精确和高效的，允许非常具体和可重复的基板上的特征对齐。机器本身由XY级、用于对准和定位基板和掩模的四轴机械手、最小分辨率0.5微米的亮场和暗场显微镜组成。机器包括一个内置的计算机系统，它允许用户编程对齐点和控制机器。可编程的对齐功能非常精确,允许进行各种对齐操作,如圆形到圆形、矩形到矩形以及圆形到直线。机器还包括激光二极管对准，使用激光为用户提供面罩和基板精确对准的参考点。MICROTEC MA200的用户有能力同时控制机器的所有四个轴，并自动或手动调整基板和掩模的位置。用户也有能力根据基板和设备来调整机器的曝光。KARL SUSS MA-200在半导体工业中被广泛使用，因为它提供了一种将图样转移到基板上的快速而准确的方法。该机速度快、效率高，使用户在保持传输精度高、精度高的同时，实现了高收益、低周转时间。此外，激光二极管对准可以在对准掩模和基板时获得很高的准确度，确保模式的传递是精确和可重复的。