二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9381588 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 200是在光电、IC、MEM和薄膜器件生产中用于创建图样和光刻的高精度掩模对齐器。它具有高分辨率的步进级,可以使设备与接触孔、隔离元件、通风孔甚至大电路精确对齐。MICROTEC MA200的光学设备使用照明的4微米标线和快速步进的Galvo扫描仪，达到1 µm的精确分辨率。光源是一种卤素灯，用于快速曝光时间和整个基板上均匀的照明场。收集到的光通过单色仪，该单色仪减少环境光，确保样品表面的频率均匀。KARL SUSS MA-200具有坚固的外壳，由不锈钢构成，室温范围为15°C至25°C，加上10%至80%的湿度范围。它还配备了自动晶片处理、有助于进入基板的电动门以及真空密封室。该对准器还包括一个自动对焦系统，能够在施加压力的同时调整位点的高度，以保持基板和标线之间的接触。这使得实现更高精度更容易，尤其是在对齐小蚀刻特征方面。KARL SUSS MA 200的模板辅助掩蔽功能允许在不同基板或图样之间更快速地切换,而无需其他工具。它还具有集成的光谱反射测量单元，以监测设备特性的黑暗和对比，帮助生产周期调整。内置通信机器允许使用以太网和RS-232等标准接口进行编程。MA200是一种非常精确的掩模对齐器,非常适合IC、光电、薄膜设备和MEM的生产。其高性能光学器件和自动对焦工具确保了基板和标线之间的完美对准。它还包括模板辅助掩蔽、集成光谱反射法和通信能力。所有这些特性使得MICROTEC MA 200成为高精度设备生产的理想选择。