二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9394463 待售
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KARL SUSS/MICROTEC MA 200是一种用于製造微机电系统（MEMS）装置的电脑化掩模对准器。它用于在单个掩模上与样品表面精确对齐设计图样,通过光刻过程可以精确地形成图样。MICROTEC MA200由两个主要组件组成：主机和掩蔽与对齐站。大型机包含所有电子设备、运动控制系统和4.3英寸超高分辨率液晶显示器。掩蔽和对准站包含光学元件，如Quick-Align Quad Microscope，它具有远程中心d30/80变焦镜头系统和+0.7微米精度的水平/垂直对准。它还具有用于控制对齐操作的"向导"接口。KARL SUSS MA-200具有多种功能,使其成为MEMS处理的可靠高效工具。它的高加速度和高达135 µm/sec的高速，使它能够快速准确地对齐口罩。它有一个阶梯式对焦调节旋钮，允许快速和精确的光学设置。此外，对准器还具有防撞传感器、用于安全联锁的外部联锁端口、紧急停止开关等几个标准安全功能。KARL SUSS/MICROTEC MA200是一套可靠的光刻系统,可提供大小、形状和复杂性各异的对象的精确对齐方式。该系统提供卓越的图像分辨率,确保卓越的聚焦深度,并提供更高的分辨率（0.1微米精确度）。它还为多个任务提供了多个磁头,并为易于操作提供了符合人体工程学的设计。此外，对齐器还具有自动校准功能，以加快处理时间，并对更清晰的图像进行可变强度照明。总体而言,KARL SUSS MA200是用于MEMS处理的高级高效工具。
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