二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9394467 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 200是一种掩模对齐器，用来在基板表面，通常在半导体晶圆或薄膜器件上创建光刻图样。该仪器采用晶片掩模方法，以高度精确的方式将掩模与晶片对齐。MICROTEC MA200提供全场对齐,确保基板上的精确且可重复的阵列。KARL SUSS MA-200具有一个XY theta级和一个6轴运动面罩架，其设计目的是确保面罩与晶圆的精确和可重复的定位和对齐。该机的驱动设备采用高速伺服和高精度直线轴承，可提供快速和可重复的步进和重复对准和曝光。MA-200还有一个先进的照明系统，利用LED产生各种波长的曝光光，并进行精确的曝光控制。KARL SUSS/MICROTEC MA200的光学套件具有可互换的目标,可以有效地缩放图样。曝光单元利用掩模和晶片之间的瞳孔继电器光学器件确保精确成像，而观察光学器件包提供步进放大和实时检查。该机设计灵活，可接受多种面具和基板，布局类型广泛。KARL SUSS MA200具有最先进的控制软件,旨在提供灵活、用户友好的操作,并具有作业编程功能和对多种基板的支持。软件还允许过程优化和参数开发。机器的温控机保持恒定的环境温度，能够在曝光前后加热或冷却晶片。此外,MA 200能够处理直径最大为8英寸的基板,并且能够承受高达5.5英寸的曝光面积。该机器还具有先进的晶圆处理工具，具有自动湿处理资产，在曝光前清洁和保存光刻胶。KARL SUSS MA 200采用模块化设计和一套全面的自我监控功能,易于维护。