二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 200 #9395433 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 200是一种全场投影对齐器，用于亚微米范围内基板的定性对准和光刻。该设备非常适合使用多种材料、基材、剂量和特征尺寸,非常适合各种研究、开发和生产应用。MICROTEC MA200具有独特的非扫描仪对准系统，该系统使用广域成像光学器件和场均匀性来快速精确地对准每个基板。这允许对基板进行精确的配准,以便进行光掩码和蚀刻过程。KARL SUSS MA-200内的高端对准单元采用数字成像以及对掩模的精确线性和旋转控制，以确保基板与光掩模的精确对准。该机经过优化，便于优化迭加匹配，这对于微电子和微电子系统中的小、复杂设计的对齐具有重要意义。KARL SUSS MA 200的特性尺寸极小，允许小至0.2 mrad的角度精确对齐。在许多商业对齐器中都可以找到这种特征大小，但是MA200在精确和精确对齐非常小的特征方面特别有利。KARL SUSS MA200自动化,配有多磨损部件和用户可更换的光学器件,允许用户在保持最高质量标准的同时降低运营成本。自动运输晶片处理工具允许快速装载基板和掩模，减少了光刻所需的时间。自动化维护资产确保了所有组件的最佳性能,从而减少了手动维护的需求。MA-200为关键特征的精确对齐提供了顶级功能。它的非扫描仪技术、广域成像光学以及敏感的数字成像和控制系统允许用户以始终如一的优异效果创建高质量的蒙版。先进技术与可靠性能相结合，是研发和生产应用的绝佳选择。