二手 KARL SUSS / MICROTEC MA-210 AA #293654297 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA-210 AA Mask Aligner是一种高端仪器，用于制作各种电子器件的光刻工艺。它用于生产光掩模，用于在半导体晶圆上创建高度精确的图样。MICROTEC MA-210 AA Mask Aligner有两个主要组件：UV投影设备和二维（XY）级。紫外线投影系统包括一个DUV光学椭球反射器、一个电源单元和一个密封的紫外线准分子激光器。激光产生248纳米波长的光，被反射器准直，产生可以投射到所需晶片层上的光掩模的精确图像。图像尺寸在0.25mm至12mm之间，分辨率为0.25 μ m。还包括一个显微镜，提供10倍至50倍的放大倍率，以便对掩模和晶片层进行高度精确的对准。KARL SUSS MA-210 AA Mask Aligner的XY级由直流电机驱动,提供三种手动/自动操作模式。在手动模式下，舞台可以用操纵杆和数字显示器手动控制，提供高达0.2mm的精度。在自动模式下，舞台可以针对各种作业进行编程，可重复性和精度为0.1mm。覆盖测量单元也可用于掩模和晶片层的高精度对准，使用反射激光进行检测。MA-210 AA Mask Aligner配备自动晶片对准机,具有三个可电子调制的V型凹槽系统。集成的晶圆提升工具可高效加载和卸载直径可达200毫米的200个晶圆,在光刻工艺中提供高效和高效的效率。KARL SUSS/MICROTEC MA-210 AA Mask Aligner具有可编程计算机接口,允许软件控制对准器的各个方面,包括激光功率和探测器信号。它包括许多安全功能，例如用于紫外线光学资产的快门，以及用于防止未经授权使用对准器的互锁模型。综上所述，MICROTEC MA-210 AA Mask Aligner是用于制造半导体器件的高精度光掩码的先进工具。它具有先进的紫外线投影设备、二维XY级、自动晶圆对准系统和可编程的计算机接口。KARL SUSS MA-210 AA Mask Aligner通过提供可重复性和准确性以及多种安全特性,为半导体元件的成功制造做出了贡献。