二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 24 #9246069 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 24是来自MICROTEC Company和KARL SUSS的高度先进、自动化的掩模对准器。本机用于半导体工业中的光刻工艺。它使用光学对准来精确定位用于各种应用的掩模和晶片。MICROTEC MA 24提供了位置精度为1.2 µm的原位步进器、自动XYW掩模传输能力和精确的基于UV的激光光刻技术，非常适合生产微结构半导体器件。该机可配备多种先进功能，包括图像分析、计算机辅助晶片表面识别、数据分析、实时晶片位置反馈以及过程监控。KARL SUSS MA 24效率很高，使用传统和高端数码光学传感器，并拥有多达三个独立的相机系统。它还有一个内置的视觉设备，具有先进的照明窗口，色彩补偿器和伽马设置。该系统还有一个空气滤清器单元，以及一个真空保护透镜机，以确保所有的光学元件始终准备就绪。MA 24支持三种不同的曝光模式-单曝光、双曝光和四曝光-用于晶圆的顺序放置和阵列。它还提供了一种高分辨率的紫外线激光光刻技术，用于生产低至15纳米特征尺寸的微观结构。该工具的工作分辨率为15 µm，提供了无限制的对准过程阶段。KARL SUSS/MICROTEC MA 24还提供了高度的资产灵活性。它包括一个加热的舞台板和允许多达九个不同的面罩平面角度设置。此外，该单元还包含了像迭加控制测量、周期时间减少、负模式模式等特殊选项。此外，MICROTEC MA 24有自动化模式。它包括软件、计时器和机器人臂，可以将晶片和掩码装卸到机器中。机器还有一个自动站选择器，使用户能够在不同的晶片、掩模和曝光平面之间快速切换。KARL SUSS MA 24 Mask Aligner是一款先进且用户友好的设备,非常适合生产精密的微型结构。它采用了最新的技术和功能,以确保卓越的性能。凭借其广泛的功能，它是生产高质量半导体器件的完美工具。