二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 24 #9382957 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 24是一种先进的用于半导体制造工艺的掩模对齐器。此工具可用于使用EBR（电性遮蔽电阻器）和激光将平版印刷图样印在掩模和/或晶圆上。机器有一个高精度的两轴坐标表，其中一个轴用于旋转面罩，同时还有一个铝真空卡盘。该表可达到高达400 rpm的速度和高达5微米的可重复性。它还具有高性能激光分束器，可以在对准过程中获得更高的精度，并且能够对准小至1.5微米的步长。MICROTEC MA 24的对准过程高度自动化。激光用于检测掩模的位置，并用两个光学传感器获得对准精度。这使得掩模和晶片的对准精度很高。激光标记检测也用于在一个过程中对齐多层。由于机器是一种高度精确的仪器，它比其他类似的对齐器需要更少的人力监督，使得它在时间和金钱上效率更高。此外，它不产生任何臭氧，这使得它可以安全使用。KARL SUSS MA 24有一台主机可以链接到任何光刻操作。它还为用户提供了对齐方式的全面数据报告，以便他们能够更好地控制自己的操作。综上所述,MA 24是一种高精度、高效的高级掩模对齐器.它提供了许多功能,包括高精度、最低限度的人力监督、安全操作和全面的数据报告。对于电子工业中使用的半导体制造来说，这是一个很好的选择。