二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 25 #293601585 待售

KARL SUSS / MICROTEC MA 25
ID: 293601585
优质的: 2000
Mask aligner Wafer / Substrate: Up to 5" BSA and TSA Alignment.
KARL SUSS/MICROTEC MA 25是Benchtop Mask Aligner,可为各种应用程序提供光刻功能。该系统非常适合原型半导体器件的制造和评估,以及进行工艺开发研究。它利用先进的曝光光学、精确的运动阶段和直观的操作员界面来提供快速、可重复的结果。MICROTEC MA 25配备了一个光学头,可用于角度和圆形照明,用于专门的应用。它具有获得专利的3.2nm光栅系统,可实现高精度和精确的对准。所述光学器件适用于各种基板,从微米到毫米,工作距离超过8英寸(20.3厘米)。KARL SUSS MA-25有多种曝光技术,包括经典接触印刷和近距离印刷。强度控制和脉冲模式曝光也可提供。此外,它还具有可变剂量控制和可编程的能量斜坡特性.这些功能确保精确的对准和曝光,以及改进的过程控制,具有高达40倍的低剂量控制。KARL SUSS/MICROTEC MA-25专为低批量和大批量生产而设计,可处理各种口罩和基板。它具有Z轴焦距,能够通过离散数字表面扫描聚焦到50微米。它还具有可调节的掩模到晶片间隙和恒定的扫描速率跟踪精度。为了最大限度地提高用户安全,MA-25有一个完整的外壳,这也有助于消除颗粒物和其他来源的污染。机箱还具有主动冷却功能,可使系统保持峰值性能,并最大程度地减少过热造成的潜在损坏。总体而言,MICROTEC MA-25是各种光刻应用的绝佳选择。它非常精确、可靠,并采用最新的曝光技术来实现最精确的定位和曝光设置。
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