二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 25 #293644302 待售

ID: 293644302
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MA 25是用于制造晶体管和集成电路(IC)等微电子器件的光刻掩模对准器。这是一个非常精确和可靠的设备,在基板对准光掩模。它能够精确对齐两个相隔少至0.1微米的掩模,非常适合用于现代半导体生产。MICROTEC MA 25包括两个主要组件:掩模对齐器和XY表。Mask Aligner设计用于优化吞吐量和精度,两个线性运动级受低功率充氮离子泵保护。这样可确保设备中仅流通清洁气体,从而最大限度地提高产量并保持卓越的成像质量。XY表实际位于掩码对齐器下方。它具有由两个线性平移级和一个旋转级组成的驱动系统。它用于调整基板的对准和放置,以确保光掩模被精确地放置在晶圆或基板上。它还具有独特的微米校准单元,以确保掩码对准在所有设备之间保持一致。KARL SUSS MA-25的掩模对准精度令人印象深刻,使其能够精确重迭分辨率为0.1微米的光掩模阵列。这样可以确保不会冲刷较暗的图像,例如用于亚微米CMOS设备生产的图像。此外,它的双边对齐器和环形对齐机减少了错位和边缘接触错误的可能性。KARL SUSS/MICROTEC MA-25是各种微电子器件制造工种的理想选择。它可以在硅片、石英和玻璃等各种基板上精确对齐光掩模,使其非常适合IC,如内存芯片和CMOS设备。此外,它还能够轻松准确地对准液晶,例如用于显示设备的液晶。总之,MICROTEC MA-25是一种用于微电子器件生产的高精度、可靠、有益的掩模对准器。它能够以大约0.1微米的分辨率精确对准光掩模,是制造集成电路设备的理想之选。其XY表和双边对齐器有助于提高精度,确保正确放置所有光掩码并防止未对齐。它特别适合于液晶元素的对齐,非常适合用于显示和存储芯片的生产。
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