二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 25 #293732512 待售

ID: 293732512
晶圆大小: 3"-4"
Double sided mask aligner, 3"-4" Mask, 5".
KARL SUSS/MICROTEC MA 25 MAS Mask Aligner是一种最先进的精密光刻机,设计用于基板和晶片上复杂集成电路布局的高精度制造。它可以对准光刻胶并将其暴露于各种光学光刻图样中,最大分辨率为5微米。该机器能够提供非常高的吞吐量和可重复的结果,使其非常适合生产目的。MICROTEC MA 25是一个完全由计算机控制的设备,使得通过捆绑的MICROTEC控制软件自动化和控制对准和曝光过程成为可能。此软件还提供了高效对齐和曝光过程的必要工具,如对齐模式生成、模式识别、模式移动、焦点调整等。KARL SUSS MA-25还为用户提供了多种对准显微镜,可用于实现更高程度的精确对准。MICROTEC MA-25还在基板尺寸、曝光时间和曝光强度方面提供了较高的灵活性水平,以及能够精确曝光各种光刻胶和材料。它可以加工直径最大为6英寸的晶片,处理范围广泛的层,包括光致抗蚀剂、氧化物、导体和聚合物层。该系统还拥有最多4-6英寸的曝光面膜,用于同时曝光基板。除了MA-25的优异性能外,单位还高度重视安全。机器有一个自我监控机器,检查所有部件的安全状况,这有助于降低操作过程中发生事故的风险。此外,内置的安全联锁装置在操作过程中最大限度地防止危险材料暴露。总体而言,KARL SUSS/MICROTEC MA-25 Mask Aligner是高批量生产的绝佳选择,因为它提供了卓越的精度、性能和灵活性。其自动化的对准和曝光过程使其成为可靠且经济高效的解决方桉,适用于从电路布局和全彩光刻到设备测试的各种应用。MA 25具有强大的特性和安全协议,是制造复杂集成电路布局不可或缺的工具。
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