二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 4/6 #9249041 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 4/6是一种掩模对齐器，用来将光刻掩模与光刻覆盖的晶片对齐，以便在晶片上创建图桉。MICROTEC MA 4/6专为使集成电路（IC）的大批量制造可靠、精确、可重现而设计。该设备采用高精度和自动化的对准技术来精确地操作和定位用于IC阵列的掩模。KARL SUSS MA 4/6掩模对齐器有五个主要组件：晶圆表、掩模表、光学编码器对、视觉和检查系统以及控制单元。晶圆台设计为保持晶圆，并配有气动驱动的真空杯以固定晶圆，并允许在X、Y和Z轴中操纵。掩码表设计用于容纳掩码,并包含一个集成的自动掩码加载程序。光学编码器有助于精确测量晶片和掩模彼此之间的运动和对准。视力和检查单元确保保持掩模和晶片的完整性,并正确执行阵列。最后，控制单元提供硬件和软件来指导晶圆和掩模表的精确定位。MA 4/6掩模对准器具有高达10微米（µm）的校准对准精度，适合纳米尺度精度。并用三点校准机调整对准精度，以实现最佳对准。这种三点校准工具利用三个基准标记，这三个基准标记是晶圆上用来参考掩模的永久标记，在X和Y轴上提供独立的对齐方式。此外，资产还采用集成晶圆检测模型，在曝光前后对晶圆进行检测。此检查显示在控制单元的屏幕上,允许访问各种参数以检查可重现的精度。此外,KARL SUSS MA 4/6掩码对齐器还具有直观、图标驱动的直观用户界面,即使是首次使用的用户也能简化用户操作和设置。甚至还有一个计算机辅助设计（CAD）接口，用于将模式从IC布局传输到晶圆。此程序也可定制和编程,允许根据用户规范进行定制操作。MA 4/6掩模对齐器的其他功能包括先进的图像处理、低运行成本和低占地空间要求。此掩模对齐器非常适合小型和大型生产运行,旨在使大批量生产的IC准确、可靠和可重现。KARL SUSS/MICROTEC MA 4/6掩码对齐器具有直观的用户界面、编程功能和精密的对齐精度,可以可靠地使用,甚至可以供首次使用的用户使用。