二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 45 #293748730 待售

KARL SUSS / MICROTEC MA 45
ID: 293748730
Mask aligner.
KARL SUSS/MICROTEC MA 45是一种精密掩模对准器,广泛应用于集成电路的制造。MICROTEC MA 45由高度精确的六轴微探针、光学设备和光源组成。这种组分组合用于在硅晶片上精确对齐和曝光光刻胶图桉。六轴显微镜是KARL SUSS MA-45的心脏。这由一个可以在三个线性方向和三个角度方向上移动的平台组成。微观电容器由精密设计的电动机驱动,每个轴的分级。这允许高度精确的曝光和对准光刻胶图样到纳米水平。KARL SUSS MA 45的光学系统使用透镜、反射镜和滤镜的组合,在硅晶片上精确对准和曝光光刻胶图桉。使用专门的光源以确保准确性和曝光一致性。它提供了晶片表面上的光刻胶图样的放大投影。根据型号和单元配置,MICROTEC MA-45的光学机器能够在单个曝光过程中投影正负光掩模。使用MA 45,光刻胶图样的曝光和对准可以在三种不同的模式下进行。手动模式让用户完全控制掩码对齐器,而半自动模式则允许操作员指定某些参数,如曝光时间、曝光面积和尺寸。自动化模式可用于根据预先编程的参数使流程完全自动化。MA-45是现代硅片制造工艺中一种非常宝贵的数字光刻工具。它精度高、效率高、使用方便,成为半导体行业企业的热门选择。这种掩模对齐器能够以最高的精度和一致性在晶片表面上暴露出大而复杂的图桉。
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