二手 KARL SUSS / MICROTEC MA 45 #9221606 待售

KARL SUSS/MICROTEC MA 45是一种精密的掩模对齐器,可在掩模上的图样排列与基板上的表面特征之间提供高精度对齐。它是一种接触对准器，使用机械和光学传感器的组合，以确保在图样和基板之间精确配合。MICROTEC MA 45利用自动校准简化了作业选择和调整过程,显着提高了吞吐量并缩短了设置时间。KARL SUSS MA-45包括一个机壳和一个摄像头组件，以及一个真空卡盘安装晶片级。设备配置有四个对准视觉系统-两个用于粗略对准,两个用于精细对准。单光束扫描单元用于从阵列和晶圆曲面捕获图像数据。这些数据在软件中进行处理以生成对齐参数，使系统能够达到高达2微米的注册精度。KARL SUSS MA 45设计具有多重曝光能力，提供晶圆基板的全面接入和覆盖。它配备了几种不同类型的投影光学器件，用于不同的图桉和特征。它还可以配备多个源持有者，允许处理多种掩码格式。该设备采用符合人体工程学的设计,使操作员能够管理所有操作并验证单个控制台的流程数据。它由基于Linux的操作机器控制，可以与SUSS MICROTEC软件工具连接，允许工程师存储作业、监控曝光结果和根据需要调整参数。此外，KARL SUSS/MICROTEC MA-45可以与广泛的其他设备集成，并与自动化的材料和资源处理系统兼容。这使得用户能够创建完整的生产系统以实现高效自动化以及经济高效和可靠的生产操作。